2021年1月23日中国产学研合作促进会【产学研函字(2021)第06号】发布通知。为表彰在产学研合作创新工作中做出突出贡献的先进单位和个人,经科技部和国家科技奖励办批准,中国产学研合作促进会设立“中国产学研合作创新与促进奖”。经中国产学研合作创新与促进会组织专家对项目进行评审,苏州慧利仪器有限责任公司的“具有抗扰动功能(QHL)的超高精度平面绝对检测技术”项目荣获“产学研合作创新成果奖”一等奖。
苏州慧利仪器有限责任公司负责“具有抗扰动功能(QHL)的超高精度平面绝对检测技术”产学研创新项目的工程化实现和应用推广。该项目联合上海理工大学、苏州维纳仪器有限责任公司等单位,在“2013国家重大科学仪器设备开发专项”的支持下,经过多年的产学研合作研究,开发了国产化高端数字化激光干涉仪,在满足高精度平面面形相对测量的基础上,提出绝对检测算法和闭环自检技术,使得平面面形检测精度提高5倍,开发抗扰动功能QHL测量模块,突破测量环境不稳定对检测数据的极大干扰,甚至无法测量的工程化难题。创新成果项目产品及技术已在国家计量单位、国家大科学装置及工程、高精密光学机械加工等多家企事业单位进行推广应用,实现了数字化激光干涉仪的工程化和产业化,有助于提升中国高端检测仪器和高精密检测技术的发展。