走进慧利

ABOUT H&L

首页>走进慧利>慧利新闻

应用案例 | 6英寸平面平晶计量

发布时间：2022-08-31 来源：慧利探索公众号浏览：436

随着光学计量、光学精密加工、半导体芯片、LED等技术性产业的快速发展，对光学元件表面面形的检测精度，特别是超光滑表面面形检测精度越来越高，而光学表面面形的加工精度受面形检测精度限制。因此，提高计量检测的检测精度是至关重要的。计量型平晶的校准检测更是作为平面测量的标准，因此实现计量型平晶的高精度、快速、无损检测尤为重要。

新的检定规程与行业标准

2020年1月1日开始正式实施由国家市场监督管理总局发布的JJG28-2019《平晶检定规程》和中华人民共和国工业和信息化部发布的JB/T 13872-2020《平面相移干涉仪》，慧利仪器是起草单位之一。慧利仪器干涉仪其中一款——无应力平面检测干涉仪专门解决平晶计量检测问题，且满足最新版检定规程和校准规范的要求。

平面平晶计量应用

数字化的相移干涉仪和绝对校准技术的应用，使得此款干涉仪可实现平面平晶全表面测量，并兼顾国内外平面平晶测量参数，测量精度PV可以高达λ/100 （波长为632.8nm)；突破一等平面平晶的限制，消除干涉系统中参考面面形误差的影响，实现低精度平晶对高精度平晶的测量，且重复性RMS可以高达λ/3000。降低50%以上自重变形量对测试结果的影响以及绝对校准因环境（温度、时间）变化所导致的形貌变化，规避测量环境不稳定对检测数据的干扰，从而解决平面平晶的高精度测量问题。

自主研发的测量软件

慧利仪器自主研发的测量软件系统可以兼容现行等倾干涉仪的平面度离散点参数体系，提高平晶平面度测量仪的通用性；建立全面的全表面形貌参数体系，检测纳米级平晶表面形貌的多种特征参数（计量检测结果可显示RMS、PV、10PV、PVr、二维图、三维图、36项泽尼克系数等全面形数据）；测量软件界面可实现数据库存储和调用，满足测量数据信息快速、准确、流畅的使用需求。

分享到：