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标准简介|JJG 28-2019《平晶》国家计量检定规程

发布时间:2022-09-14 来源:慧利探索公众号 浏览:1474

平晶是以光波干涉法测量平面度、直线度、研合性以及平行度的计量器具,包括平面平晶、平行平晶和长平晶。平晶是平面度计量中的主要标准量具,在JJG 2019-89《平面度计量器具》国家计量检定系统中具有重要的位置,是检定、校准、测试和量值溯源的主要标准器具。

JJG 28-2019《平晶》检定规程适用于平晶(包括平面平晶、平行平晶和长平晶)的首次检定、后续检定和使用中检查。

检定规程JJG 28经过制定和修订,历次版本发布情况:

• JJG 28-1980《平面平晶》

• JJG 28-1991《平面平晶》

• JJG 28-2000《平晶》

• JJG 28-2019《平晶》

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JJG 28-2019《平晶》检定规程主要介绍了,“平晶”的范围、引用文件、概述、计量性能要求、通用技术要求、计量器具控制及附录。其中平晶工作面的平面度作为关键计量性能要求,采用比较测量法和绝对测量法。

平晶平面度比较测量法以下三种:

•  相移式等厚干涉测量法:在相移式激光等厚干涉仪上安装,调整标准平晶与被测平晶,产生等厚干涉条纹,驱动标准平晶移动,从而产生多幅干涉图像,对其进行采集、处理和分析,求出平晶工作面的平面度(PV和RMS测量值)。该测量方法首次在JJG 28-2019《平晶》检定规程中引入。

•  平面等厚干涉测量法:用标准平晶与平面等厚干涉仪组成平面度标准装置,通过观测计算干涉条纹的弯曲量求出平面度。
•  平面等倾干涉测量法:用标准平晶与平面等倾干涉仪组成平面度标准装置。平面度的测量应在两相互垂直的方向上进行。计算平面度时,当所测二截面平面度出现的符号相同时,取其中绝对值最大的为平面度,符号相反时,则取两者绝对值之和为平面度。
平晶平面度绝对测量法又称多面互检法,参加互检的平晶其外形尺寸、材料应一致,包括以下两种方法:

•  十字线绝对测量法:可使用平面等厚干涉仪、平面等倾干涉仪和相移式激光等厚干涉仪进行测量,即三面互检法和四面互检法,经过计算可得到平面平晶上两个垂直截面(即:十字线)上的绝对平面度测量值。

•  全表面面形绝对测量法:全面形三面互检法测量需使用相移式激光等厚干涉仪,经过多次转位测量,其测量数据经过计算可得到平面平晶全面形的绝对平面度测量值。
综上所述,平晶平面度测量是经典的计量检测应用,其采用的物理光学干涉测量技术精度高,分辨率高,稳定性好,在平面度校准、检定测量和光学加工检测领域有着广泛的应用。

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