平晶是以光波干涉法测量平面度、直线度、研合性以及平行度的计量器具,包括平面平晶、平行平晶和长平晶。平晶是平面度计量中的主要标准量具,在JJG 2019-89《平面度计量器具》国家计量检定系统中具有重要的位置,是检定、校准、测试和量值溯源的主要标准器具。
JJG 28-2019《平晶》检定规程适用于平晶(包括平面平晶、平行平晶和长平晶)的首次检定、后续检定和使用中检查。
检定规程JJG 28经过制定和修订,历次版本发布情况:
• JJG 28-1980《平面平晶》
• JJG 28-1991《平面平晶》
• JJG 28-2000《平晶》
• JJG 28-2019《平晶》
平晶平面度比较测量法有以下三种:
• 相移式等厚干涉测量法:在相移式激光等厚干涉仪上安装,调整标准平晶与被测平晶,产生等厚干涉条纹,驱动标准平晶移动,从而产生多幅干涉图像,对其进行采集、处理和分析,求出平晶工作面的平面度(PV和RMS测量值)。该测量方法首次在JJG 28-2019《平晶》检定规程中引入。
• 十字线绝对测量法:可使用平面等厚干涉仪、平面等倾干涉仪和相移式激光等厚干涉仪进行测量,即三面互检法和四面互检法,经过计算可得到平面平晶上两个垂直截面(即:十字线)上的绝对平面度测量值。