为认真贯彻落实苏州市政府《“苏州制造”品牌认证三年行动方案(2021~2023年)》要求,持续加大“苏州制造”品牌影响力,培育和打造一批自主创新、品质高端、服务优质、信誉过硬、市场公认的品牌群体。2022年“苏州制造”品牌国际认证联盟依据《“苏州制造”品牌认证管理办法》的有关规定,组织认证联盟相关成员机构根据《“苏州制造”品牌认证通用要求》,对第三批申请“苏州制造”品牌认证企业的产品是否符合质量卓越、管理精细、创新发展、品牌引领、社会责任、智能生产等要求进行了评定。经过审核,共有50家企业的54个产品通过了“苏州制造”品牌认证,获得“苏州制造”品牌认证证书,其中苏州慧利仪器有限责任公司申请的“相移式激光干涉仪”产品顺利通过认证!
相移式激光干涉仪是慧利仪器的干涉仪系列产品。该类产品可广泛应用于光学平面计量、半导体晶圆、半导体掩膜版基板、同步辐射、光刻机光学元件、航空航天折返成像系统、空间光学器件、强激光平板玻璃测量等领域,实现大口径光学表面面形、透射波前、光学均匀性等参数的检测。它采用经典的斐索型共光路设计,结构简单、在适用于多种被测样品的前提下,使用数字化相移分析方法实现高精度、多功能的检测。
相移式激光干涉仪不仅实现了干涉测量技术从小口径到大口径的全面覆盖,而且填补了国内制造业和国家质检部门对高精度平面检测设备需求的空白。